某半导制造厂工业企业因晶圆清晰生产工艺产生含氨生产废水，的水量200吨/天。生产废自来水中除化学需氧量外还含带氟化物和轻微血本属，补救等级大。各地排放物细则需要化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污废水 成份及來源 晶圆洁净焦化废水（主耍从何而来）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀道工序废液：含进样器铜、镍等巨资属，pH值波动性大 CMP打磨工业废水：含硅粉末及氯离子 外理工艺方法方法 用到"耐腐蚀沉淀物中+膜拆分+折点氯化"搭配的工艺： 预治疗 ：加药系统CaCl2除氟，管控pH在7.5-8. 反渗透膜系统化 ：彻底清除0.01μm以上的小粒物 反覆盖提液 ：将挥发酚浓缩提炼至1000mg/L以上内容 折点氯化 ：精准的控制氯添加量，将氯离子转换成为惰性气体 阳离子更换 ：维护天价属及格 以后效果好 挥发酚安稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属含量如果低于检测工具限 水中水回用率达75% 淤泥诞生量削减40%