某半导体器件集成ic研发厂在晶圆鑫霖环保的过程中，操作硅烷来进行硅外延性的生长，废气排放洗衣机清洗塔有浓度较高的值含硅废污水。废污水具pH波动性大（2-11）、硅硫含量高的特别，传统与现代解决方法步骤易经常出现硅垢阻塞情况。 废水处理基本成分及原因 废水处理工艺主要含量为： 可溶性高，溶于水的性硅酸盐 ：SiO₂浓度值达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢氧化反应钠 ：洗洁塔酸碱度洗洁液残渣 小粒硅 ：nm级SiO₂溶液 痕量砷 ：工业原料沉淀物带进去 处理加工制作工艺 环节 创新技术选择"两极结合+膜脱水+蒸发掉成果"施工工艺： 考试内容一级采和 ：用CaO转换pH至4-5，制成硅酸钙沉垫，硅的还原率60%。 2级采和 ：加Na₂CO₃将pH发展至9，进第一步沉淀出的已满硅，串并联用镁剂除砷。 反渗透装置设备 ：0.02μm瓷砖膜过滤程序纳米技术级硅粉末，通量安稳在80LMH。 MVR多效空调蒸发器 ：溶缩高盐污废水 ，心得出Na₂SO₄副品牌，水回收利用率超90%。 以后治疗效果 总硅从1500mg/L降为5mg/L下述 砷水平从0.8mg/L低于0.01mg/L 设计无水垢操作超2年 每人每年回收并氢氧化钠钠晶胞约800吨