该厂为8厘米晶圆出产线智能化的超净水程序，整天会产生含硅生产废水150吨。生产废水里面虽无天价属，但硅分子量高易积灰，且电阻功率率需达到18MΩ·cm这样才能工农业废水加工处理。增加了加工处工院艺无非达到新废止的《微电子工农业水弄脏物排放量口标准》（GB39731-2020）特意排放量口限制值。 废水处理化学成分优点和缺点 主要是弄脏物 ：溶液硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（颗粒直径0.1-1μm） 唯一性必须 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 饮用水质性质 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物特征较为复杂 解决加工制作工艺 制作流程 科学创新主要包括"梯级膜分离出来+电去阴阳离子"组合成方法： 微滤预清理 ：1μm瓷质膜屏蔽短信大粉末硅，通量维护80LMH 阳离子变换树酯 ：D201大孔环氧树脂选泽性离心分离硅酸分子式 2级RO设计 ：第1段回收处理率60%，2.段选取高脱硼膜部件 EDI电去阳离子 ：直流电压溶解度2A/m²，持续不断除去残余物化合物 紫外线消毒杀菌 ：254nm分光光度计线用药量40mJ/cm² 技术工艺特点 联合开发专门用阻硅剂（生物碳胺类pp物），推迟膜破坏周期长3倍 EDI功能模块什么是创新流道设计的概念，硅清除率加强至99.8% 同屏在线硅分析一下仪（量测依据0.1-500μg/L）满足精准扶贫调节 正常运行功效 经第两方方检侧： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含氧量从8μg/L降低0.3μg/L 操作系统再利用率从原40%完善至68% 膜换时期调长至5年，年启动成本价大幅度降低35%