该晶圆打造厂为于苏北东北部,通常生产加工制造8厘米半导晶圆,每日污水产生量约800吨。犹豫生产加工制造具体步骤中动用多氢氧化钠对其进行晶圆蚀刻,影响污水面氟化物酸度高达模型200-300mg/L,远超中国产生规范(10mg/L如下)。
生活污水有效成分及来原
废液通常基四个关键点:
晶圆蚀刻步骤
:含高质量浓度氟化物(HF)、盐酸及一些巨资属
普通机械设备制造机械设备制造镜面抛光(CMP)废气
:含nm级硅粉末、有机物络合剂
机械洗掉废水处理
:含异丙醇、氧化还原电位等生产物
加工处理工艺设计程序
采用了"检查是否积累+混泥土积累+长度过滤清洁"三级视频外理软件系统:
特级办理
:加药氯化钙和氢被氧化钙,造成氟化钙沉淀自己,氟化物的还原率达85%
二级考试工作
:加PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),删去橡胶胶体部分态废弃物物
3级治疗
:可以通过多媒质进行水过滤器和特异性炭气体吸附,有水出氟化物含量增强在8mg/L一些
首要设配主要包括:pH自功调接机系统、斜管沉淀物池、板框板框压滤机(厌氧颗粒污泥脱水过滤)。
终于功能
投资项目程序运行三年期探测信息提示 :
氟化物总值盐浓度:7.2mg/L(高于标准化)
COD删去率:92%
工业废水水分含量率:≤65%
年回收并氟化钙副企业产品约150吨,确保教育综合合理利用合理利用